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晶圆检测机
PCB在线外观检测(VRS)
名称
参数
检测速度：
≤100m/min
检测幅宽：
200mm-550mm
分辨率：
0.07mm/pix
尺寸检测精度：
±0.1mm
缺陷检测精度：
0.3mm*0.3mm
检测单面条数：
≤2条
过杀率/漏杀率：
漏判率0%，误判率≤0.5%
缺陷和涂膜的灰度偏差需满足≥30
1）宽度：
全幅宽、AB面涂宽、留白宽度、陶瓷宽度、极耳尺寸
2）长度：
工位测量长度、极耳间距
3）缺陷检测：
污物、表面破损、划痕、条痕、气泡、漏金属、极耳破损。
工艺：
连续涂布、4680工艺
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